[코디박 진공펌프 수리과정]
- 플라즈마 진공증착기에 사용하던 코디박 부스터 진공펌프입니다. 모델은 KBP-2700입니다.
- 모든진공에서는 모든 진공펌프를 새로운 곳에 입양하기 전에 항상 수리 및 오버 홀하여 테스트 후에 입양시킵니다.
- 파우더 가루가 많이 생겨서 문제가 많았습니다. 다른 곳을 살펴보니 타이밍기어 쪽으로 로터가 밀려서 스크래치도 발생하여 있었습니다.
- 살펴보니 로터의 측면과 실린더 커버가 마찰하면서 고착이 되어있었습니다.
- 실린더 커버는 연마 작업을 해야했습니다. 로터는 밸런스를 다시 보았습니다. 유체 커플러 쪽도 분해하였습니다.
- 유체 커플러입니다. 칸칸이 홈에 오일이 들어가서 회전을 하는 카플러의 운동 에너지를 상대 커플러 측에 전달합니다.
- 세정을 하고 후렌지면을 확인하였습니다.
- 내부에 서스코트를 하여 부식이 되는 것을 방지합니다.
- 구석구석 완벽하게 하지 않으면 어느 한 곳으로부터 부식이 일어나서 전체로 번집니다. 그렇게 되면 고장의 원인이 되는 것입니다.
- 세정, 부속 부품 교환, 실린더 커버를 연마 후 조립에 들어갑니다. 먼저 한쪽 커버를 조립한 후에 로터를 조립합니다.
- 립씰을 교체하고 조심스럽게 실린더 커버를 조립하였습니다.
- 조립 작업이 편하고 위험하지 않게 리프터를 이용하여 안전하게 조립을 해야합니다.
- 나머지 실린더 커버도 조립합니다.
- 유체 커플러를 조립하였습니다.
- 엔지니어가 꼼꼼하게 하나하나 조립에 정성을 다 하여 마무리 합니다.
- 나사를 꽉 쪼아서 고정을 잘 해야 작동 중 풀림이 생기지 않습니다.
- 모터의 사양을 확인하고 전원을 연결합니다.
- 정격부하를 미리 확인하고, 기동 시 확인합니다. 정격이 13으로 아주 양호하게 나왔습니다.
- 테스트를 완료하고 검은색으로 도색하였습니다.
- 코디박 오일 로터리 진공펌프와 함께 시스템 조합입니다. 부스터 진공펌프 KBP-2700와 시스템 조합인 오일 로터리 진공펌프 GHP-6000D입니다.
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